当已知能量的X射线照射气体或晶体固体时，由于光电效应，电子被打出外部；光电子能谱法，就是分析这种电子的动能，即光电子能谱而求出分子或晶体内电子结合能而鉴定物质元素的方法。原子内壳层的能级因化学结合状态（价电子的变化）而变，这种变化可以造成X射线光电子电子能谱峰形状和位置的变化，人们称之为化学位移或化学校应。通过分析谱峰的化学位移可以得知该元素的价键信息。

    X射线光电子能谱可以检测元素周期表中除H及HE的所有元素，其信息深度为零点几道及纳米，检测灵敏度为千分之几原子层。这种仪器在能源、催化、大规模集成电路、超导簿膜研制、材料的腐蚀与防护、断口分析、失效分析、表面电子发射、材料表面改性等领域得到广泛应用。

    目前X射线衍射分析的应用几乎遍及物理、化学、生物、医药、金属、地质、矿物、陶瓷、半导体、材料科学以及高分子科学等各个学科领域，成为各学科的科学工作者获得物质组成和微观结构信息的手段。

    0320 荧光光谱仪

    当某些物质到被某种能量较高的辐射照射时，该物质即发射出各种频率极不同强度的光，停止照射这种光随之消失，此种光线陈为荧光。

    X射线照射物质时，也可以产生次级X射线，即荧光X射线。荧光X射线的波长只取决于物质中原子的种类。因此该波长的荧光X射线的波长就可以确定物质的元素组分，这就是荧光X射线定性分析的基础。根据产生的荧光X射线的强度，就能定量地求出各元素含量，就是是荧光X射线定量分析的基础。X射线荧光光谱仪，根据分光原理，可以分为波长色散型和能量色散型两种基本类型。波长色散型X射线荧光光谱仪由X光管激发源、试样室、晶体分光器、探测器和计数系统几个部分组成。而能量色散型X射线荧光光谱仪则用分辨率较高的半导体探测器和多道脉冲分析器代替晶体分光器和一般探测器。X射线荧光分析广泛应用于钢铁、合金、矿石、玻璃、陶瓷、塑料、石油等材料的元素分析。固体、粉末和液体样均可用此法分析，成为现代仪器分析的主要手段之一。