氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。

    1. 检漏仪专用分子泵

    2. 机械泵或者干泵

    3. 定制检漏仪专用电磁阀

    4. 内置标准漏口

    5. 放大器

    6. 采用质谱专用模块

    1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s

    2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

    3. 启动时间：≤5min

    4. 响应时间：≤1s

    5. 检漏口的压力：1500Pa

    6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A

    7. 工作环境：5-35℃

    8. 相对湿度：≤80%

    9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）

    10. 重量：64kg

    BW-930C型是一款分体式检漏仪。

    设备内芯制造借鉴国外先进技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。

    环境温度：5～35℃

    相对湿度： <80%

    供电电压：单相交流220V±10%，50Hz工作电流：10A

    JSJ-242型氦质谱检漏仪

    1.采用便携式设计

    2.设备外型美观小巧

    3.采用液晶触摸屏设计

    4.有通讯接口

    5.可以方便地将检漏数据输出

    最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s

    漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s

    启动时间： ≤5min

    响应时间： <2S

    检漏口压力： 300Pa

    极限真空： 5×10-4Pa

    外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）

    重量：46KG

    用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，

    而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。