二次离子质谱编辑

日期:2020-01-09     浏览:188    
0二次离子质谱简介
二次离子质谱(secondary ion mass spectroscopy),是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器,它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子,就可以得到关于样品表面信息的图谱。
中文名
二次离子质谱
外文名
secondary ion mass spectroscopy
别    称
次级离子质谱、离子探针
原    理
用一次离子束轰击表面
 
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