1 概述
2 主要参数
(1)压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数, 它直接关系到压电输出的灵敏度。
(2)压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。
(3)对于一定形状、 尺寸的压电元件, 其固有电容与介电常数有关; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。
(4)在压电效应中,机械耦合系数等于转换输出能量(如电能)与输入的能量(如机械能)之比的平方根; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。
(5)压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏, 从而改善压电传感器的低频特性。
(6)压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点温度。
3 压电转换
压电关系表达式:Q=d*F,其中d:压电常数
更一般表达式:电荷密度q ,(用单位面积受力表示)
其中:i=1,2,3表示晶体极化方向,指的是与产生电荷的面垂直的方向;j=1,2,3,4,5,6表示受力方向,1~3表示x,y.z向受力,4~6表示剪切力方向
如q1表示法向矢量为x的两个面产生的电荷
受x向(拉)力作用后在z方向产生电荷的表达式:
受z向力作用后在z方向产生电荷的表达式:
各表达式见图片:
4 结构
石英(SiO2)晶体结晶形状为六角形晶柱。两端为一对称的棱锥,六棱柱是它的基本组织,纵轴 z-z 称作光轴,通过六角棱线而垂直于光轴的轴线 x-x 称作电轴,垂直于棱面的轴线 y-y 称作机械轴。如果从晶体中切下一个平行六面体,并使其晶面分别平行于 z-z 、y-y 、x-x轴线,这个晶片在正常状态下不呈现电性。当施加外力时,将沿 x-x 方向形成电场,其电荷分布在垂直于 x-x 轴的平面上
5 石英有关
石英的化学式为 SiO2 ,在一个晶体单元中,有三个硅离子和六个氧离子 ,后者是成对的,所以一个和两个交替排列。
当没有力作用时,硅离子和氧 离子在垂直于晶体 Z 轴的 XY 平面上的投影恰好等效为正六边形排列,如上图 a 示。这时正负离子正好分布在正六边形的顶角上,呈现电中性。如果沿 X 方向压缩,如上图 b 所示,则硅离子 1 被挤入氧离子 2 和 6 之间,而氧离子 4 被挤入硅离子 3 和 5 之间,结果表面 A 上呈现负电荷,而在表面 B 上呈现正电荷。这一现象称为纵向压电效应。
..若沿 Y 方向压缩,如上图 c 所示,硅离子 3 和氧离子 2 ,以及硅离子 5 和氧离子 6 都向内移动同样的数值,故在电极 C 和 D 上不呈现电荷,而在表面 A 和 B 上, 即在 X 轴的端面上又呈现电荷,但与图 b 的极性正好相反,这时称为横向压电效应。从研究的模型同样可以看出:如果是使其伸长而不是压缩时,则电荷的极性正好相反。总之,石英等单晶体材料是各向异性的物体,在 X 或 Y 轴向施力时,在与 X 轴垂直的 面上产生电荷,电场方向与 X 轴平行,在 Z 轴方向施力时,不能产生压电效应。
6 压电分析
石英的晶体结构为六方晶体系,化学式为SiO2。
定义:
x:两平行柱面内夹角等分线,垂直此轴压电效应最强,称为电轴。
y :垂直于平行柱面,在电场作用下变形最大,称为机械轴。
z :无压电效应,中心轴,也称光轴。
当在电轴方向施加作用力时, 在与电轴 x 垂直的平面上将产生电荷, 其大小为Qx = d11 Fx。
式中: d11——x方向受力的压电系数
Fx——作用力
若在同一切片上, 沿机械轴y方向施加作用力Fy, 则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy, 其大小为Qy=d12Fy a/b
式中: d12——y轴方向受力的压电系数
d12=-d11
a、 b——晶体切片长度和厚度
(1)当石英晶体未受外力作用时, 正、负离子正好分布在正六边形的顶角上, 形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、 P2、P3, P1+P2+P3 = 0, 所以晶体表面不产生电荷, 即呈中性。
(2)当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时, 晶体沿x方向将产生压缩变形,正负电荷重心不再重合,在x轴的正方向出现正电荷, 电偶极矩在y方向上的分量仍为零, 不出现电荷。
(3)当晶体受到沿y轴方向的压力作用时,在x轴上出现电荷, 它的极性为x轴正向为负电荷。在y轴方向上不出现电荷。
(4)如果沿z轴方向施加作用力, 因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同, 所以正负电荷重心保持重合, 电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力, 晶体不会产生压电效应。
7 压电陶瓷
压电晶体与压电陶瓷的比较:
相同点:都是具有压电效应的压电材料。
不同点:石英的优点是它的介电和压电常数的温度稳定性好,适合做工作温度范围很宽的传感器。极化后的压电陶瓷,当受外力变形后,由于电极矩的重新定位而产生电荷,压电陶瓷的压电系数是石英的几十倍甚至几百倍,但稳定性不如石英好,居里点也低。
8 等效电路
1、电容效应等效原理
1)压电式传感器结构
..在压电晶片的两个工作面上进行金属蒸镀,形成金属膜,构成两个电极, 如图所示。
2)等效电容量
当压电传感器受到沿其敏感轴向的外力作用时,就在两电极上产生极性相反的电荷,因此它相当于一个电荷源(静电发生器)。由于压电晶体是绝缘体,当它的两极表面聚集电荷时,它又相当于一个电容器,其电容量为沿 x 轴方向加力产生纵向压电效应,沿 y 轴加力产生横向压电效应,沿相对两平面加力产生切向压 电效应。
3)等效电压
当压电晶体受外力作用时,两表面产生等量的正、负电荷 Q ,可求出其开路电压(负载电阻为无穷大时)
..1)、压电式传感器既可等效为电荷源又可等效为电容器,其等效电路可认为是二者的并联,如下图(a)所示;也可认为是一个电压源和一个电容器串联,如下图(b)所示。其中 Ra为压电元件的漏电阻.
2)、压电式传感器测试系统等效电路
..压电式传感器工作时,需与二次仪表配套使用
,此时的等效电路如下图所示。图中Cc为传感器电缆电容,Ri为放大器输入电阻,Ci为输入电容。
9 串并联
单片压电晶片难以产生足够的表面电荷,在压电式传感器中常采用两片或两片以上压电晶片组合在一起使用。由于压电晶体是有极性的,因而两片压电晶体构成的传感器有两种接法:串联和并联 .
10 应用
压电式测力传感器
压电式测力传感器是利用压电元件直接实现力-电转换的传感器,在拉、压场合,通常较多采用双片或多片石英晶体作为压电元件。其刚度大,测量范围宽,线性及稳定性高,动态特性好。当采用大时间常数的电荷放大器时,可测量准静态力。按测力状态分,有单向、双向和三向传感器,它们在结构上基本一样。
图所示为压电式单向测力传感器的结构图。传感器用于机床动态切削力的测量。绝缘套用来绝缘和定位。基座内外底面对其中心线的垂直度、上盖及晶片、电极的上下底面的平行度与表面光洁度都有极严格的要求,否则会使横向灵敏度增加或使片子因应力集中而过早破碎。为提高绝缘阻抗,传感器装配前要经过多次净化(包括超声波清洗),然后在超净工作环境下进行装配,加盖之后用电子束封焊。
压电式压力传感器的结构类型很多,但它们的基本原理与结构仍与压电式加速度和力传感器大同小异。突出的不同点是,它必须通过弹性膜、盒等,把压力收集、转换成力,再传递给压电元件。为保证静态特性及其稳定性,通常多采用石英晶体作为压电元件。
压电式加速度传感器
测量时,将传感器基座与试件刚性固定在一起。当传感器感受到振动时,由于弹簧的刚度相当大,而质量块的质量相对较小,可以认为质量块的惯性很小,因此质量块感受到与传感器基座相同的振动,并受到与加速度方向相反的惯性力作用。这样,质量块就有一正比于加速度的交变力作用在压电片上。由于压电片具有压电效应,因此在它的两个表面上就产生了交变电荷(电压),当振动频率远低于传感器固有频率时,传感器的输出电荷(电压)与作用力成正比,即与试件的加速度成正比。输出电量由传感器输出端引出,输入到前置放大器后就可以用普通的测量器测出试件的加速度,如在放大器中加进适当的积分电路,就可以测出试件的振动加速度或位移。
压电式金属加工切削力测量
主要用于金属加工切削力测量。
压电式玻璃破碎报警器
主要用于璃破碎报警器。