编辑1仪器特点
■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；
■无接触测量；
■无需校准；
■高精度、高重复性；
■样品台可选：4寸、6寸、8寸；
■强大的分析软件，可显示3D表面形貌；
■同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；
0简介
平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量
。
- 中文名
- 平整度测试仪
- 测量方法
- 光学方法
- 测量物件
- 晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等
- 重复性精度
- 0.01um
2参考资料
1. 平整度测试仪 ．合能阳光[引用日期2012-08-30]
