编辑1介绍
激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
英文名称：laser interferometer（激光干涉仪）
2分类
激光干涉仪有单频的和双频的两种。
3应用
（1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。
（2）位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可最大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到最佳精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。
（3）数控转台分度精度的检测及其自动补偿 现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。
（4）双轴定位精度的检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。
（5）数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。
4技术参数
5D/6D标准型：
1. 线性：0.5ppm .
2. 测量范围：40米（1D可选80米）
3. 线性分辨力：0.001um.
4. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值
5. 最大范围：800角秒
6. 滚动角精度：1.0角秒
7. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值
8. 直线度最大范围：500um
9. 垂直度精度：1角秒
10. 温度精度：0.2摄氏度
11.湿度精度：5%
12.压力精度：1mmHg
5主要特点
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米
4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性
5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架
6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间
7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。
8、激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。
6注意事项
1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。
2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。
3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。
4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。
5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。
6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。
7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。
