1 二次离子质谱:二次离子质谱仪
Secondary-ion-mass spectroscope ( SIMS),是利用质谱法分析初级离子入射靶面后,溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素,并能给出同位素的信息、分析化合物组分和分子结构。二次离子质谱具有很高的灵敏度,可达到ppm甚至ppb的量级,还可以进行微区成分成像和深度剖面分析。
Secondary-ion-mass spectroscope ( SIMS),是利用质谱法分析初级离子入射靶面后,溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素,并能给出同位素的信息、分析化合物组分和分子结构。二次离子质谱具有很高的灵敏度,可达到ppm甚至ppb的量级,还可以进行微区成分成像和深度剖面分析。