生产厂商 型号 测量范围 分辨力 重复性 测量不确定度 温度要求 温度补偿

    德国FMS EMP Ⅱ 0~100mm 0.01μm ±0.01μm 0.03μm +0.3L （L in m） 20℃±0.5℃ 不需要

    瑞士TESA UPD 0~100mm 0.01μm 0.04μm ±（0.05+0.5L）（L in m） 20℃±0.5℃ 需要

    德国Mahr Pr826 0~100mm 0.01μm ±0.01μm 20℃±0.5℃ 不需要

    NANOCEHCK GCK150 0-150mm 0.01μm ±0.01μm (0.05+L/1000)um 20℃±0.5℃ 不需要

    结构及控制系统

    生产厂商 型号 结构 控制系统 测量面磨损 测量效率

    德国FMS EMP Ⅱ 双测头 测头的升降控制系统 无 高

    与量块推送系统合而为一，

    专利技术

    瑞士TESA UPD 双测头 单独的测头升降控制 有 一般

    系统和量块推送系统

    德国Mahr Pre826 双测头 单独的测头升降 有 低

    控制系统和量块推送系统

    NANOCHECK GCK150 双测头 测头的升降控制系统 有 高

    控制系统和量块推送系统

    目前有几款做的比较的仪器：德国FMS、德国mahr、瑞士tesa、国内NANOCHECK原理都是通过测点接触量块，进而比较得到待测量块的尺寸。以下是德国FMS的技术参数，以及和其他仪器的比较：校准平行量块的测量工作站

    ·快速、可靠、高精度(1等不确定度)

    ·测量范围：0,5～100mm

    ·重复精度：±0,01 μm

    ·不确定度：0.03 μm+ 0.3 x L (L in m)

    EMP II校准附件一套6对量块组，K级精度每一套都符合如下要求:

    ·EAL-G21校准量块比较仪欧洲实验室认可联盟

    ·DKD-R 4-1 德国校准服务机构（DKD）指导文件用于量块比较仪的校准Pair 1 (A= 0,5 mm; B= 0,5 mm)Pair 2 (A= 1,0 mm; B= 1,005 mm)Pair 3 (A= 1,0 mm; B= 1,01 mm)Pair 4 (A= 4,0 mm; B= 4,0 mm)Pair 5 (A= 100,0 mm; B= 100,0 mm)Pair 6 (A= 6,0 mm; B= 6,0 mm)