目前有几款做的比较领先的仪器：德国FMS、德国mahr、瑞士tesa、国内NANOCHECK

原理都是通过测点接触量块，进而比较得到待测量块的尺寸。

以下是德国FMS的技术参数，以及和其他仪器的比较：

校准平行量块的测量工作站

·快速、可靠、高精度(1等不确定度)

·测量范围：0,5～100mm

·重复精度：±0,01 μm

·不确定度：0.03 μm+ 0.3 x L (L in m)

EMP II校准附件一套6对量块组，K级精度每一套都符合如下要求:

·EAL-G21校准量块比较仪欧洲实验室认可联盟

·DKD-R 4-1 德国校准服务机构（DKD）指导文件用于量块比较仪的校准Pair 1 (A= 0,5 mm; B= 0,5 mm)Pair 2 (A= 1,0 mm; B= 1,005 mm)Pair 3 (A= 1,0 mm; B= 1,01 mm)Pair 4 (A= 4,0 mm; B= 4,0 mm)Pair 5 (A= 100,0 mm; B= 100,0 mm)Pair 6 (A= 6,0 mm; B= 6,0 mm)

特殊凹槽式量块（如图）用于确定下测头B的测量偏差