TTV
　　精确度：±0.1um
　　重复性精度：0.01um
　　厚度
　　精确度：±0.2um
　　重复性精度：0.1um
　　测试范围：50-2000um
　　翘曲度/弯曲度
　　精确度：0.5um
　　重复性精度：0.2um
　　测试范围：200um
　　整机参数
　　测量时间：<100秒
　　测量尺寸：8寸
　　尺寸：550*602*291mm
　　整机功率：800W

　　厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；
　　无接触测量；
　　无需校准；
　　高精度、高重复性；
　　样品台可选：4寸、6寸、8寸；
　　强大的分析软件，可显示3D表面形貌；
　　同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；