1 测试原理
Vx与Vr均是矢量电压表,Rr是理想电阻。自平衡电桥的意思是:当DUT(Device Under Test)接入电路时,放大器的负反馈配置自动使得OP输入端虚地。Vx准确测定DUT两端电压(DUT的Low电位是0),Vr与Rr测得DUT电流Ix,由此可计算Zx。
HP4275的测试端Hp,Hc,Lp,Lc(下标c代表current, 下标p代表Potentail),Guard(接地)的配置可导致测试的误差的差异。
提高精度的方法是: 1,Hp,Lp,Hc,Lc尽量接近DUT; 2,减小测试电流Ix的回路面积&磁通量(关键是分析Ix,要配合使用Guard与Cable最小化回路面积);3,使用Gurard与Cable构建地平面中断信号线间的电场连接,虽然会增加信号线的对地电容(对地电容不影响测试结果),但是会减少信号线的互容。
Guard与Cable的对地寄生阻抗(Zhg,Zlg) 不影响测试结果,电桥平衡时Zlg的两端电压是0,流向Rr的电流不会被Zlg分流,Zhg的分流作用不影响Hp的电压测量。
2 测量步骤
LCR测试仪一般用于测试电感和电容。测量步骤如下:
- 设置测试频率
- 测试电压或者电流水平
- 选择测试参数,比如Z、Q、LS(串联电感)、LP(并联电感)、CS(串联电容)、CP(并联电容)、D等
- 仪器校准,校准主要进行开路、短路校准,高档的仪器要进行负载校准
- 选择测试夹具
- 夹具补偿
- 将DUT放在夹具上开始测试