仪器主要是运用气浮与真空吸附原理进行测量的，在测量的过程中都必须有气体作润滑，所以开机后系统会对气路气压进行检测。当气压处在设置的范围内时电机才能开始工作，否则系统蜂鸣器就会报警，电机无法启动。滑台上下移动过程中，真空吸附滑台的正负压气路均要打开。使用前滑台的初始位置位于位置处（此时测头距离大理石平板表面约10mm）。以下是具体使用方法。
　　单个测量面器具
　　按下底部气浮按钮，使主体浮起，然后将测量仪移动到基准工作台合适的位置，松开按钮使主体底部与基准工作台面接触；
　　仪器复位（测头距离基准工作台面约10mm处）；
　　调整被检器具位置使其被测量面与测头相接触，当测头示值（通过TT20显示盒可以看到示值）接近零时，使测头读数清零；
　　在软件界面上输入被检器具的相关信息（如直角尺类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期等），确定后点击“开始测量”按钮；
　　测量完毕后点击软件界面上的“记录管理”按钮查看检测记录，并进行打印等相关操作。
　　两个测量面器具
　　按照以上步骤2-4测量个被测量面（外角α）；如下图所示
　　个面测量完之后，软件界面上会出现一个提示对话框，提示进入第二个测量面（γ角）的测量，根据提示，调整好被测器具第二个测量面与测头的相互位置，当测头示值接近零时，使测头读数清零，然后点击软件界面上的确定按钮即可进行测量；
　　之后输入两个基面之间的平行度误差，确定后软件根据规程换算出内角β。

　　三角形直角尺
　　刀口形直角尺
　　方形角尺
　　圆柱直角尺
　　平面形直角尺
　　高精度机械零件

　　仪器包括导向装置、测量装置、驱动装置、气源控制装置、辅助夹具、电脑等。
　　导向装置：包括主体和气浮滑座。主体本身是使用优质花岗岩精密加工而成的高精度直角尺。气浮滑座与主体组成运动副，滑座的每个导向面与主体导向面之间均有气浮，可以实现无摩擦上下移动。
　　测量装置：包括高精度测头和夹持装置，安装在滑座上，随滑座一起移动，测头采集数据可以实时传输给电脑。
　　驱动装置：包括电机和绕线轮等。绕线轮驱动拉绳牵引滑座上下移动。
　　气源控制装置：包括气源过滤装置、稳压装置和控制阀门等。用以控制气体压力和流量的稳定，以保证滑座气膜厚度的稳定。
　　辅助夹具：用以辅助定位被测件（如刀口形直角尺、平面直角尺等）。
　　电脑：输入被测件信息、自动采集数据并处理数据结果。
　　打印机：打印输出结果。

　　其主要用于如下几个方面的测量：
　　1）检测尺寸500mm内的00级、0级、1级、2级的各种类型直角尺的垂直度，以及被测面的直线度；
　　2）检测尺寸至500×500mm方箱的各个工作面相互垂直度和平行度；
　　3）检测0-500mm范围内高精度的机械零件的垂直度。
　　这种仪器具有测量精度高、性能稳定、操作及维护方便的优点，但是由于技术难度较大，国内几乎没有生产，只有几家公司在做，目前主要是发达国家在生产。由于国外产品售价高，在我们国内没有得到普及推广。国内在检测垂直度方面主要还是使用传统的检测方法，比如光隙法、手动打表法等，这些方法操作过程比较繁琐，检测效率也比较低。